产品介绍
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质谱类产品

PrismaPlus™---真空残余气体质谱简介

显著特点:

紧凑--易于和真空系统集成
 高灵敏度和高检测极限
 Quadera视窗软件,功能齐全
 测量速度快,最快可达2ms/AMU
 双灯丝
 5路模拟输入和4路模拟输出信号
 5路数字输入和16路数字输出信号
● 快速放大,高动态范围,自动切换量程
 峰位稳定,自动校准电子学零漂
 耐烘烤温度最高到300o,90度转角空间节省型可选 

 
              *表中所示为质量数1-100amu,轴向离子源的典型值.其它配置下的参数请咨询本公司. 

广泛适用于研发,高能物理,环境,清洁度检测
应用领域:
   ● 真空残余气体分析         超高真空残余气体分析         半导体基片清洁度检测
   ● 溅射过程气体分析         等离子体过程气体分析         光学镜片清洁度检测
   ● 蒸发材料气体分析         在线气体分析             电子显微镜水分检测
   ● 微量夹杂气体分析         呼吸气体分析             同位素分析
   ● 充气气体成分分析