性能指标:
极限真空度≤ 8×10-5Pa；
触摸屏操作的自动控制系统；
真空罐加热温度: 室温～150 ℃±2℃；
真空管道和充气管道加热温度室温～80℃；
充气压力范围：5KPa～100Kpa；
充气压力精度：±5%；
充气湿度：＜100ppm（-60℃露点）；

应用于工件在真空条件下的加热除气和并且充入保护性气体的工艺。